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    當前位置:首頁產品中心自營產品升級款等離子刻蝕機PC-5S13/5D13升級款等離子刻蝕機

    升級款等離子刻蝕機
    產品簡介:

    升級款等離子刻蝕機,外觀大方簡潔,質量可靠,性能穩定,廣泛應用于納米材料學,半導體,微電子,光學,電子學,醫藥學,環境學,微流控生物學,LED,石墨烯等不同領域。
    主要用于以下實驗:表面清潔、表面活化、鍵合、去膠、金屬還原、簡單刻蝕、器械的消毒、去除表面有機物、疏水實驗、鍍膜

    產品型號:PC-5S13/5D13

    更新時間:2025-01-05

    廠商性質:生產廠家

    訪 問 量 :1022

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    產品介紹

    產品特點:

    1.      5寸彩色觸摸屏操作界面,采用45°傾斜角度設計,符合人體工程學,操作簡單友好。

    2.      PLC自動監測控制工藝參數,參數可存儲,手動、自動兩種模式任意切換。

    3.      艙門,流量計內凹式設計,防止不小心磕碰損壞,更大氣美觀。

    4.      松下高精度數字真空壓力表,實時檢測顯示艙體內真實真空度,提供論文真實數據。

    5.      氣體浮子流量計或質量流量計(MFC),可對多種氣體精準控制。

    6.      不銹鋼或石英真空艙體可選,艙體管路采用耐腐蝕材料。

    7.      進氣端口,氣體返填端口均配有HEPA高效過濾器,有效過濾空氣中污染顆粒及水分。

    8.      真空泵配有油霧過濾器,可有效隔絕油氣溢散,保護實驗環境。

    9.      使用成本低,無需進行特殊維護,日常使用中保持儀器清潔即可。

    10.    具備優良的安全保護措施,射頻模塊溫度異常升高時,自動關閉電源,保護樣品,提高設備安全性和穩定性。

    等離子清洗機應用領域,納米材料學,半導體,微電子,光學,電子學,微流控生物學,石墨烯,再造醫學等領域

    技術參數

    型號

    PC-5S

    PC-5S13

    PC-5D

    PC-5D13

    射頻電源

    40KHZ

    13.56MHZ

    40KHZ

    13.56MHZ

    射頻電源功率

    0-200W

    0-150W

    0-200W

    0-150W

    匹配器

    自動匹配

    自動匹配

    激發方式

    電容式

    電容式

    電容式

    電容式

    艙體容積

    5L

    5L

    5L

    5L

    艙體尺寸

    D245mm*?155mm

    D245mm*?155mm

    D245mm*?155mm

    D245mm*?155mm

    艙體材質

    不銹鋼

    不銹鋼

    不銹鋼

    不銹鋼

    載物板尺寸

    L245mm*W155mm

    L245mm*W155mm

    L245mm*W155mm

    L245mm*W155mm

    HEPA高效過濾器

    最小過濾0.22um

    最小過濾0.22um

    最小過濾0.22um

    最小過濾0.22um

    氣體控制

    浮子流量計可選質量流量計(MFC

    浮子流量計可選質量流量計(MFC

    浮子流量計可選質量流量計(MFC

    浮子流量計可選質量流量計(MFC

    氣體壓力穩定時間

    60s

    60s

    60s

    60s

    工作時間設定

    1-9959秒可調

    1-9959秒可調

    1-9959秒可調

    1-9959秒可調

    真空度

    100par

    100par

    100par

    100par

    真空泵

    抽速8m3/h

    抽速8m3/h

    抽速8m3/h

    抽速8m3/h

    電源

    AC220v5060HZ

    AC220v5060HZ

    AC220v5060HZ

    AC220v5060HZ

    產品尺寸

    L41*W38*H50cm

    L41*W38*H50cm

    L41*W38*H50cm

    L41*W38*H50cm

    包裝尺寸

    L49*W46*H58cm

    L49*W46*H58cm

    L49*W46*H58cm

    L49*W46*H58cm

    整機凈重

    18kg

    32kg

    18kg

    32kg


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