Plasma可以在大氣的環(huán)境下，快速的清楚有機(jī)污染物，達(dá)到組件表面潔凈及改質(zhì)的功能，有效提升組件封裝、黏著、印刷之可靠度。

電漿控制電源部規(guī)格

1

尺寸（WxDxH)

370mm×450mm×150mm

詳細(xì)規(guī)格參附件

2

重量

13kg

3

需求電源

AC220V,50-60Hz,3wire單相+接地線、10A

地線＜0.5

4

電漿輸出功率

CDA：600--1000W

可使用功率視實(shí)際條件而定

5

電漿有效直徑

30-50mm

視條件及樣品而定

6

工作進(jìn)氣接頭

6×8mm  Connector

連接至主氣源

7

氣體使用量

CDA:26±2L/min

視條件及樣品而定

8

氣體壓力

4.20±0./kg/cm

9

配置空間

放置在通風(fēng)良好（環(huán)境溫度小于30度）的地方。保留左右及上方有150mm以上散熱的空間，保留后方有150mm的線路空間

電漿照射部規(guī)格

1

尺寸（H)

33mm×215mm

詳細(xì)規(guī)格參附件

2

重量

＜0.3kg

3

電源部-照射部距離

2.6m

其他規(guī)格

1

有效清潔范圍

75mm

視條件及樣品而定

2

處理速度

50-300mm/sec

視樣品而定

3

處理距離

與待清潔物距離4m

1

電漿需求電源

AC220v,50-60Hz,3Wire單相＋接地線，10A

地線＜0.5歐姆

2

N2/ CDA

純度：99.95%.

壓力：4.20±0../kg/cm

流量：20±2L/min

入口 PU 管管徑：6mm×4mm

氣體含油量：＜0.003ppm

氣體含水量：露點(diǎn)＜-23°C

3

排氣

（抽氣罩客戶自行準(zhǔn)備）

需在電漿噴射下方及周圍設(shè)置抽風(fēng)罩

一般廠務(wù)排氣，大氣排放排氣量1000L/min

電漿可能產(chǎn)生臭氧、NOx.、CO2等廢氣，請(qǐng)作好廢氣排放，避免人員暴露于廢氣環(huán)境中

4

避免干擾問(wèn)題

1

警報(bào)

警示信號(hào)輸出

選配

2

危險(xiǎn)標(biāo)示

高壓危險(xiǎn)標(biāo)示

3

使用環(huán)境

室溫：  15~30°C

濕度：30%~70%

不可有可燃性氣體，腐蝕性氣體，爆炸或反應(yīng)性粉塵

1

鍍鉑金銅電極

PT1000T

CDA: 500hr

南京嘉陽(yáng)

2

噴嘴

CDA:PT000P

CDA：1000hr

南京嘉陽(yáng)

電漿照射單元

1

1組電漿照射部(旋轉(zhuǎn)槍頭）

2

1組電漿控制電源部

3

保固期服務(wù)費(fèi)用

硬件驗(yàn)收

1

設(shè)備清單驗(yàn)收

2

出廠合格證

3

說(shuō)明書

性能驗(yàn)收

1

清潔后，素玻璃水滴接觸角＜15°（@速度100mm/s,距離4）mm

穩(wěn)定性測(cè)試

1

連續(xù)1小時(shí)電漿噴射測(cè)試

重復(fù)一次性能驗(yàn)收

驗(yàn)收日期

1

交機(jī)后1個(gè)月內(nèi)必須完成驗(yàn)收

清潔功能

1，目視電漿噴射狀況

2，ITO 玻璃試片測(cè)試

3、水滴角測(cè)試

日常

1次/月

其他

電極

是否破損

石英管

是否破損

氣體（鋼瓶）壓力

壓力指示是否正確

1，廠務(wù)工程

2、試片提供

以上試片，貴單位需免費(fèi)提供

電漿穩(wěn)定性

有肉眼觀察電漿狀態(tài)。持續(xù)時(shí)間

組裝零件穩(wěn)定性

電漿經(jīng)過(guò)1小時(shí)操作后，觀察電極，石英管狀況

流量測(cè)試

測(cè)試氣體流量是否正常

洗潔能力測(cè)試

貴單位試片測(cè)試（試片由貴單位提供）

(1)生產(chǎn)保證

由于本裝置的不合適，生產(chǎn)停止的損失及不良品的損失，

敝公司不得保證。

(2)安全保證

維修及問(wèn)題解決時(shí)，若需以手指觸碰機(jī)臺(tái)時(shí)，請(qǐng)先將電源

關(guān)閉 20 分鐘以上。使用中的安全問(wèn)題，本公司不得保證。

(3)瑕疪責(zé)任

關(guān)于來(lái)自貴公司的指示, 施工方法等造成的裝置瑕疪不得

保證

(4)交機(jī)后改造責(zé)任

交機(jī)后，貴公司若有對(duì)構(gòu)造、性能、方式進(jìn)行改變而產(chǎn)生

的問(wèn)題，敝公司不得保證

(5)本體改造責(zé)任

交機(jī)后，貴公司對(duì)構(gòu)造、性能、方式改造時(shí)，敝公司得不

保證提供問(wèn)題處理及消耗品供給之責(zé)任。

(6)因?yàn)榻?jīng)年變化之責(zé)任

非瑕疪而產(chǎn)生材料的自然性損耗、變化、變色或因?yàn)榻?jīng)年

累月而產(chǎn)生的裝置問(wèn)題，得不保證。

(7)無(wú)法預(yù)測(cè)的環(huán)境變化責(zé)

任

在設(shè)備所設(shè)計(jì)允許的條件(溫度、濕度、氣壓、排氣等)以

外情況下使用或存放所引發(fā)的問(wèn)題，得不保證。

(8) 規(guī)定以外的氣體使用之

責(zé)任

禁止使用規(guī)定以外的氣體，允許使用的氣體如下：

CDA、N2 純度 99.95%

使用其他的氣體所引發(fā)的問(wèn)題，得不保證。

Pin 1

+24V Output

供外設(shè)預(yù)備電源。  Max 100mA.

注意: 切要避免Pin 1與除接線圖指示之外的任何引線或接地體發(fā)生短路！

Pin 2

Ground

Pin 3

IN1-P

外部開關(guān)

P接正極性；N接負(fù)極性

接線方法，參考下列接線示意圖。

Pin 4

IN1-N

Pin 5

RS485-A

RS485通訊線。

暫不提供